литография
61электронно-лучевая литография — elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam lithography; electron beam printing vok. Elektronenstrahllithografie, f; Elektronenstrahlschreiben, n rus. электронная литография, f; электронно… …
62ионная литография — jonpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion beam lithography; ion beam printing vok. Ionenstrahllithografie, f rus. ионная литография, f; ионно пучковая литография, f pranc. lithographie par faisceau ionique,… …
63ионно-пучковая литография — jonpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion beam lithography; ion beam printing vok. Ionenstrahllithografie, f rus. ионная литография, f; ионно пучковая литография, f pranc. lithographie par faisceau ionique,… …
64прецизионная литография — didelės skyros litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. high resolution lithography vok. Lithografie mit hoher Auflösung, f rus. литография с высоким разрешением, f; прецизионная литография, f pranc. lithographie à haute… …
65последовательная шаговая проекционная литография — žingsninė projekcinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. step and repeat projection lithography vok. schrittweise Projektionslithografie, f rus. последовательная шаговая проекционная литография, f; проекционная… …
66проекционная литография с последовательным шаговым экспонированием — žingsninė projekcinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. step and repeat projection lithography vok. schrittweise Projektionslithografie, f rus. последовательная шаговая проекционная литография, f; проекционная… …
67последовательная шаговая литография — žingsninė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. step and repeat lithography; stepper lithography vok. schrittweise Belichtungslithografie, f rus. литография с последовательным шаговым экспонированием, f;… …
68РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ — метод микроэлектронной технологии, заключающийся в формировании с субмикронным разрешением защитной маски заданного профиля на поверхности подложки; осуществляется при помощи рентг. излучения длиной волны l 0,4 5 нм; один из методов… …
69Оптическая литография — Статьилаборатория на чипелитографиямикроморфологияфоторезист (Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО») …
70Рентгеновская литография — Статьилитографиямикроморфология (Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО») …